SHIMADZU岛津 贴片式热电模块 72010‑010BS 超微型贴片式 TEC 微型高性能热电模块 半导体晶圆制造、FPD 显示、光通信、激光设备、医疗生化仪器、新能源功率器件、光伏、真空设备；用于真空旋转密封、精密温控、晶圆静电夹持、工艺腔室零部件、功率基板、半导体部件再生洗净。