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EBARA 荏原 立式多级泵 40MS351.5B 应用场景 半导体晶圆制造、光伏锂电制程、化工液体输送、工厂给排水、中央空调制冷、污水处理、真空镀膜、液晶面板生产、洁净车间流体输送。

EBARA 荏原 紧凑型干式真空泵 EV-SA30 应用场景 半导体晶圆制造、光伏锂电制程、化工液体输送、工厂给排水、中央空调制冷、污水处理、真空镀膜、液晶面板生产、洁净车间流体输送。

EBARA 荏原 无油干式泵 EV-X100N 低粉尘高洁净工况 应用场景 半导体晶圆制造、光伏锂电制程、化工液体输送、工厂给排水、中央空调制冷、污水处理、真空镀膜、液晶面板生产、洁净车间流体输送。

EBARA 荏原 大流量干式真空泵 EV-PA500 应用场景 半导体晶圆制造、光伏锂电制程、化工液体输送、工厂给排水、中央空调制冷、污水处理、真空镀膜、液晶面板生产、洁净车间流体输送。

EBARA 荏原 中流量干式真空泵 应用场景 半导体晶圆制造、光伏锂电制程、化工液体输送、工厂给排水、中央空调制冷、污水处理、真空镀膜、液晶面板生产、洁净车间流体输送。

EBARA 荏原 风冷干式真空泵 应用场景 半导体晶圆制造、光伏锂电制程、化工液体输送、工厂给排水、中央空调制冷、污水处理、真空镀膜、液晶面板生产、洁净车间流体输送。

EBARA 荏原 小型干式真空泵 EV-M20N 实验室、小型镀膜设备 应用场景 半导体晶圆制造、光伏锂电制程、化工液体输送、工厂给排水、中央空调制冷、污水处理、真空镀膜、液晶面板生产、洁净车间流体输送。