SHINNETSU新热工业 圆形晶圆热板 SFP‑300‑300 Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃

SHINNETSU新热工业 Super‑Flat 加热器 SFP‑100‑200 Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃

SHINNETSU新热工业 筒式 铠装护套加热器 CH‑10‑300 Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃

SHINNETSU新热工业 筒式 cartridge SH‑2.3‑400 Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃

SHINNETSU新热工业 cartridge 加热器 SH‑1.6‑200 Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃

SHINNETSU新热工业 工业气体加热器 `LH‑5.0‑S`｜5kW SUS316 Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃

SHINNETSU新热工业 液体浸入式加热器 `LH‑2.0‑T`｜2kW 钛材质 Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃

SHINNETSU新热工业 蒸汽发生器 TCB 系列 TCB‑200｜2kW Super‑Flat 超扁平加热器 / 真空热板（晶圆烘烤、光阻烘烤） SFH 小流量洁净气体加热器（半导体 N₂/Ar 惰性气体加热，微小管路） 小流量 0.1‑10L/min，机台内置，接 NIREI 管路，自带热电偶、过热保护，最高 350℃