MIYUKI 美幸辉 高真空伺服闸阀 GAZ‑J80 低微粒产出 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 中口径伺服阀 BAZ‑N80 闭环真空稳压调节 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 伺服蝶阀 BAZ‑N50 0‑100% 开度连续可调，压力微调 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 大口径高温 L 阀 AEH‑N40 工艺腔烘烤工位 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 角阀 AE/AEH 系列 AEH‑N25｜高温改良密封，周期性加热真空管路 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 L 型气动角阀 AEH‑N16｜耐高温烘烤型，半导体腔体除气使用 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 大流量 L 型转向阀 `AE‑N50`｜NW50 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 镀膜机气路切换阀 `AE‑N40`｜NW40 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工