MIYUKI 美幸辉 直通工艺阀 SE 系列 SE‑N16直线管路隔断 放空阀与电磁驱动阀 IV‑IP / PER 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 大口径电磁阀 PER‑N40 泵停机自动防返大气 放空阀与电磁驱动阀 IV‑IP / PER 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 电磁驱动阀 PER 系列 无需气源，泵组同步通断 放空阀与电磁驱动阀 IV‑IP / PER 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 电磁驱动阀 IV‑N40 大流量放空，大型腔体快速泄压 放空阀与电磁驱动阀 IV‑IP / PER 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 小型放空阀 IV‑N25 真空容器复压 放空阀与电磁驱动阀 IV‑IP / PER 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 小型气动放空阀 IV‑P15 腔体回大气泄压 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 大尺寸伺服调节阀 GAZ‑J150 量产大型腔体 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工

MIYUKI 美幸辉 真空阀 BAZ/GAZ 系列 GAZ‑J100｜伺服定位，I/O 通讯对接上位系统 L 型气动角阀 AE/AEH 系列 **应用场景**：半导体工艺腔体气路、真空镀膜设备、锂电材料真空处理、光学薄膜制备、科研真空实验舱、真空炉管路通断、腔体泄压调压、精密设备真空压力闭环控制、新材料真空加工